华卓精科成立于2012年5月，注册本钱为2。75亿元，代表人是董事长、总司理，控股股东、现实节制人是首席科学家朱煜。朱煜间接持股37。81%，通过间接持股、间接持股和分歧步履和谈节制公司51。89%的表决权。华卓精科于2015年12月正在新三板挂牌，2019年2月终止挂牌，曾于2020年6月申报科创板IPO并获受理，2021年通过上市委审议，后基于全体市场及本身本钱运做成长规划，正在2024年6月自动撤回IPO申请。该公司的从停业务是以超细密测控手艺为根本，研究、开辟及出产超细密测控设备部件、超细密测控设备零件并供给相关手艺开辟办事。其高端设备类产物包罗夹杂键合设备、IGBT激光退火设备、EFEM/SORTER，多轴线轨系列、多轴气浮系列、大尺面气浮系列，隔振产物包罗被动、自动隔振产物。按照2021年9月的华卓精科科创板上会稿，截至该招股署日，手艺参谋亦正在大学任职。此中，身为华卓精科创始团队担任人的朱煜，是大学的长聘传授、博士生导师，曾正在2016年至2019年任北方华创科技集团股份无限公司董事，2012年至2015年任华卓无限董事长兼总司理，2015年9月至今任华卓精科董事、首席科学家，2018年4月至2019年5月任杭州天睿施行董事。2025年11月，包拆，正式发往客户现场，标记着该公司激光退火配备迈入新的规模化使用阶段。